OXYMAT64能提供可靠的微量氧含量测量，最小量程可达0-10 ppm。OXYMAT 64的设计考虑到了一些特殊的应用需求，诸如空分装置、特种气体生产、焊接保护等众多应用领域, 还被运用于化工，食品等不同产业领域。

OXYMAT 64采用氧化锆传感器，管状的传感器在650度高温下测量恒定气流。管状传感器的内外壁就如同电极。传感器外部接触环境空气，内外接触气体的氧浓度差异导致了氧分压的不同。氧化锆在650度的温度下可传导电子，离子会向氧分压低的方向运动。两电极上的电势差即可用于氧浓度的测量。

根据应用需要，可选催化活跃型和非催化活跃型氧化锆传感器。这两种传感器采用不同材质，在处理可燃气体对电极的影响也相异。

此两种传感器均具有高线性度，且分析仪具备了所有西门子6系列气体分析仪的优点，比如直观的界面操作和开放接口架构等。